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发布时间:2020-06-02 02:29:48
无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题,国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索,在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划,如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等,水环式真空泵公司,这些举措都为铺展市场做好了基础。
无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题,还使系统制造与运行成本降低。在生物制品与半导体行业中,单旋片真空泵供应商,如果应用普通旋片油泵,会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题,而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,旋片真空泵厂商,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子,还要在系统运行中,定期清洗除油,增加了成本运行。因此,无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景,是着重商业化的对象。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境,无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质,还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴,带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。
真空泵选型日常维护必备手册
真空泵基本上可以分为两种类型,池州真空泵,即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一双极旋片真空泵种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
①、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或
②、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
③、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 ④、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对***有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 lt;1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
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