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发布时间:2020-09-04 03:12:55
极限真空概念
“极限真空”完整名称是“极限真空度”,是指微型真空泵能达到的真空度。
“极限真空”,表示该状态下,没有任何物质(包括分子、原子等)存在,这只是理论上才存在的状态,实际是不可能达到的。
比如,某台抽气能力很弱的微型真空泵,它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa,那么95KPa就是这台泵的极限真空度,比如成都公司生产的P***50.2。再比如,有一台抽气能力很强的微型真空泵,它可以把气压由100KPa降到10 KPa,那么10KPa就是这台泵的极限真空度,比如成都公司生产的VCH1028。如何选用真空泵1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。
真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 lt;1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
真空泵应先开动水环泵
真空泵罗茨泵机组中无旁通阀时,应先开动水环泵,被抽系统中的气体由罗茨泵(气体推进罗茨泵转子自行转动,好像流量计普通)进入水环泵后再排至大气,待水环泵的吸入压力(如串联有大气泵,则为大气泵的吸入压力)到达罗茨泵的起初规则值时(即允许排气压力),始启动罗茨泵,机组正式运转,开端工作。东莞真空泵罗茨泵机组中有旁通阀时,如上图所示,先启动水环泵,接着开动罗茨泵,此时,罗茨泵进排气压差较大,旁通阀自动开启,被抽容器中的气体一局部经过旁通阀进入水环泵,另一局部在罗茨泵的作用下经过该泵也进入水环泵,显然抽气速率增加,这样很快到达罗茨泵的预真空,进排气压差较小,阀门自动关闭(或人工关闭),机组正式工作。(4)过滤网毁坏,金属屑、玻璃屑等落入真空泵内,使运转发生阻碍。这种办法能大大缩短预抽时间,但设备较复杂。
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